陸企DUV微影設備投產

陸企DUV微影設備投產

https://udn.com/news/story/7333/9654508

2026-07-28 01:10 經濟日報／ 編譯陳律安／綜合外電

科技媒體The Information引述兩位知情人士報導，一家由中國大陸政府支持的企業，已啟動生產深紫外光（DUV）微影設備，若成功大量生產，可能影響微影設備大廠艾司摩爾（ASML）的產品需求，拖累ASML盤中挫跌6%。消息人士透露，這家總部位於上海的企業，已從其他陸企延攬深紫外光人才，包括一家政府支持的晶片設備製造新創上海宇量昇科技。

其實浸沒式DUV的驗證機通過大陸幾大晶圓

廠驗證的消息去年就傳出來了，今年或明年

肯定能逐步開始量產。

但是大陸的duv研發企業有三家，是哪一家

或兩家，還是三家的duv通過驗證，目前還

不清楚。

而且ASML的DUV也有很多種，從1900系

列到2000細節，有七八種高中低端產品，

大陸初始的duv可能也就1900系列的能力，

還需要花幾年時間，根據晶圓廠的使用反饋

不斷改進，才能生產出更好的duv，預估

怎麼也要三五年時間。

現在美國關注的是EUV，路透社去年就從大

陸這邊搞到消息，說首台EUV的工程樣機

已經組裝好了。所以這幾個月美國政府在

拼命的懷疑是荷蘭ASML違反美國政府禁令

出賣了技術資料，本月上升到美國的部長級

高官質疑荷蘭，當然荷蘭政府和ASML堅決

否認。

當然，工程樣機，到技術完善的成品機

還有很多工作要做，還有企業內部的開發和

測試，以及進晶圓廠進行技術驗證等很多

工作，當年ASMl這一過程花了5年多時間，

經過了數個版本迭代，才生產出具備實用

能力的量產機。

--